拥有1000㎡的纳米时栅研究专用超精密实验室，已建设有大尺寸微纳传感器件跨尺度制造研究平台和大量程微纳器件检测平台，添置到位能购置到的最高精度水平的仪器设备，如购置到位了ABM紫外光刻机、SP4磁控溅射仪、CEE-300XD显影机、CEE-300X匀胶机等，可以实现12英寸范围内的微纳结构加工。购置到位德国Zeiss公司EVO25扫描电镜、美国AMBIOS XP-2台阶轮廓测量仪、徕卡公司DM2700M 金相显微镜等高精度检测设备。配备有Renishaw激光干涉测量系统、Taylor DA20双轴光电自准直测量系统、Aerotech气浮直线平台和纳米定位平台、H-811六自由度并联定位系统、P-563三轴压电驱动微动平台、RPI超精密气浮转台、Zeiss纳米三坐标测量机等精密量仪及装备。