敞开式直线时栅
测量原理:采用高频时钟脉冲作为空间位移的测量基准,利用时间尺度提高空间尺度的测量精度和分辨力,测量性能的提高不依赖于机械制造的“精”和“密”。
产品特点:具有测量精度高、结构紧凑、安装便捷等特点。
应用领域:可应用于高端数控机床、精密仪器、半导体制造、自动化生产设备等领域。
产品选型:LIN-2000 LAE-2000系列
基本参数 | ||
产品系列 | LIN-2000系列 | LAE-2000系列(在研) |
测量类型 | 增量式测量 | 绝对式测量 |
测量行程 | 150mm、250mm、350mm、450mm、550mm、650mm、750mm | 140mm、240mm、340mm、440mm、540mm、640mm、740mm、840mm |
测量精度 | ±2.5μm、±5μm | |
分辨率 | 10nm | |
通讯协议 | ABZ(Z向可选) | BISS-C、SSI、RS485 |