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敞开式直线时栅

测量原理:采用高频时钟脉冲作为空间位移的测量基准,利用时间尺度提高空间尺度的测量精度和分辨力,测量性能的提高不依赖于机械制造的“精”和“密”。
产品特点:具有测量精度高、结构紧凑、安装便捷等特点。
应用领域:可应用于高端数控机床、精密仪器、半导体制造、自动化生产设备等领域。

产品选型:LIN-2000 LAE-2000系列

产品详情

基本参数

产品系列

LIN-2000系列

LAE-2000系列(在研)

测量类型

增量式测量

绝对式测量

测量行程

150mm、250mm、350mm、450mm、550mm、650mm、750mm

140mm、240mm、340mm、440mm、540mm、640mm、740mm、840mm

测量精度

±2.5μm、±5μm

分辨率

10nm

通讯协议

ABZ(Z向可选)

BISS-C、SSI、RS485