封闭式直线时栅
测量原理:采用高频时钟脉冲作为空间位移的测量基准,利用时间尺度提高空间尺度的测量精度和分辨力,测量性能的提高不依赖于机械制造的“精”和“密”。产品特点:具有测量精度高、安装便捷、绝对式测量等特点。应用领域:可应用于高端数控机床、精密仪器、半导体制造、自动化生产设备等领域。
产品型号:LAU-2000系列
产品系列
LAU-2000系列
测量类型
绝对式测量
测量行程
140mm、240mm、340mm、440mm、540mm、640mm、740mm、840mm
测量精度(线性)
±2.5μm、±5μm
分辨率
10nm
通讯协议
BISS-C、SSI、RS485