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封闭式直线时栅

测量原理:采用高频时钟脉冲作为空间位移的测量基准,利用时间尺度提高空间尺度的测量精度和分辨力,测量性能的提高不依赖于机械制造的“精”和“密”。
产品特点:具有测量精度高、安装便捷、绝对式测量等特点。
应用领域:可应用于高端数控机床、精密仪器、半导体制造、自动化生产设备等领域。

产品型号:LAU-2000系列

产品详情

基本参数

产品系列

LAU-2000系列

测量类型

绝对式测量

测量行程

140mm、240mm、340mm、440mm、540mm、640mm、740mm、840mm

测量精度(线性)

±2.5μm、±5μm

分辨率

10nm

通讯协议

BISS-C、SSI、RS485